Ảnh hưởng của độ dày lên tính chất màng mỏng InSb chế tạo bằng phương pháp lắng đọng laser xung trên đế Silic

Bài viết Ảnh hưởng của độ dày lên tính chất màng mỏng InSb chế tạo bằng phương pháp lắng đọng laser xung trên đế Silic trình bày kết quả chế tạo và khảo sát xác định hình thái cấu trúc cùng một số thuộc tính của màng mỏng Insb khi độ dày thay đổi.

Từ khóa: Màng mỏng InSb, Phương pháp lắng đọng laser xung, Quang hổ hồng ngoại biến đổi Fourier, Kính hiển vi lực nguyên tử AFM, Năng lượng vùng cấm